組成分析システム 多機能走査型X線光電子分光分析装置（XPS)　の一部機能が故障のため、現在利用できません。

【使用不可の機能】
・Ar銃によるスパッタリング測定
・中和システム（但し、Ar銃を使用せず電子銃のみでの中和であれば使用可能です）

＊メーカー修理となり、修理期間は2週間程度を見込んでいます。修理完了時期が判り次第お知らせいたします。