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東北大学 産学連携先端材料研究開発センター (MaSC)

共用機器のご案内

Shared equipment

共用機器のご案内

多目的X線結晶構造解析システム(多目的XRD) 

構造解析システム(結晶等) 多目的X線結晶構造解析システム(多目的XRD) 
全自動水平型多目的X線回折装置 (株)リガク製 SmartLab3G 

装置概要(目的)

薄膜試料・粉末試料・バルク試料の構造解析

主な特徴及び用途

【特長】

  • 集中法光学系と平行ビーム光学系の切り替えが容易。
  • SmartLab Guidanceが、測定条件の設定・実行までをサポート。 

【用途】

  • 定性分析
  • 薄膜評価
  • 結晶性評価
  • 配向評価
  • 定量分析
  • 粒径評価
  • 応力評価

主な仕様

X線発生部
最大出力 3kV
定格電圧 20~45kV
定格電流 2~60mA
方式 封入管式
ターゲット Cu
焦点サイズ 0.4×8mm
(ライン/ポイントフォーカス)
光学系部
入射光学系 CBO,自動幅制御入射スリット 
受光光学系 自動幅制御散乱スリット、自動幅制御受光スリット
定格電流 2~60mA
ゴニオメータ部
スキャンモード θs/θd連動、θs、θd単独
常時フィードバック制御
ゴニオメータ半径 300nm
最小ステップ角度 0.0001°
3軸試料台 χ:-5~+95° Φ:0~360° 
Z:4~+1mm
サンプルサイズ 標準Φ100mm×3mm厚み
検出部
検出器 シンチレーションカウンター
D/Tex Ultra250

使用可能なオプション機能とオプションの目的

使用可能なオプション機能 オプションの目的
使用可能なオプション機能:検出器(D/Tex Ultra250) オプションの目的:高速かつ高感度分解能の測定

装置写真

クリックすると拡大してご覧いただけます。

  • 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)

    システム全体

  • 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)

    多目的XRD装置本体

  • 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)

    装置内のX線回析装置

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