共用機器のご案内
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クロスセクションポリッシャ（CP）
断面試料作製装置 クロスセクションポリッシャ（CP）
日本電子㈱製 IB-09020CP
装置概要（目的）
SEM観察試料を大気に曝さすことなく、モニタカメラで確認しながら、Arガスによる断面加工が可能なクロスポリッシャ加工機
主な特徴及び用途
【特長】
- イオン加速電圧最大6kV, 試料冷却温度-120℃まで可能。 加工観察用モニタカメラにより、大気に試料を曝すことなく断面加工が可能。
（専用のトランスファーベッセルを使用することで、断面加工表面を大気に曝さずに、JSM-7800Fにて観察できる） - アルゴンガスを用い柔らかい試料、硬い試料、脆い試料に対して損傷を少なくした断面試料の作製が可能。
【用途】
- 機械研磨による加工変質層（クラック、結晶粒微細化など）が生じやすい金属・無機物質に有効
- 液体窒素による冷却加工が可能（断面作製時の加工熱で変質・変形しやすい、はんだなどの低融点金属、ポリマーに有効）
主な仕様
| イオン加速電圧 | 2～6ｋV |
|---|---|
| イオンビーム径 | 500μm以上（半幅値） |
| ミリングスピード | 100μm/h（2時間の平均値、加速電圧6ｋV、Si換算、エッジ距離 100μm） |
| 試料スイング機能 | ミリング中、資料を±30°自動スイング |
| 最大搭載資料サイズ | 11mm（幅）×10mm（長さ）×2mm（厚さ） |
| 試料回転角度調整範囲 | ±5° |
| 操作方法 | タッチパネル、6.5型ディスプレー |
|---|---|
| 加工位置合わせ法 | CCDカメラにより試料ステージ上でモニター |
| 位置合わせ用カメラ倍率 | 約70倍（6.5型ディスプレー上） |
| 加工観察用カメラ倍率 | 約20～100倍（6.5型ディスプレー上） |
| プリセット機能 | 加工条件（加速電圧、Arガス流量、加工時間）を5組プリセット |
| イオン用ガス | アルゴンガス |
装置写真
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装置本体全体
試料冷却用の液体窒素容器と、
試料観察用モニターカメラ
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