FIB/SEM　デュアルビームシステム（FIB/SEM）

微細加工システム　FIB/SEM　デュアルビームシステム
FEI製　Helios NanoLab^TM 600i

装置概要（目的）

Gaイオンビームを用いたナノスケールの微細加工、観察、分析、試料作製が出来る。

主な特徴及び用途

【特長】

• 超高分解能SEM観察
  　
  デュアルビーム（FIB-SEM)装置としてサブナノメータの分解能が可能。
• 高精度・高速FIB加工
  最新の差動排気システムの等が導入された最新型FIBを搭載し、従来FIBカラムと比較して全ての加速電圧領域で優れた加工特性を実現し、高品質の試料作製が可能。
• 最新の３次元自動解析用ソフトウエアの使用
  最新指導解析ソフトウエアによる次世代型３次元解析が可能。　

【用途】

• TEMサンプル作製、サブミクロン実験用試料作製、断面観察、3D解析用イメージ取得

主な仕様

使用可能なオプション機能とオプションの目的

使用可能なオプション機能	オプションの目的
使用可能なオプション機能：３次元自動解析用ソフトウエア（Thermo Fisher Scientific　Amira）	オプションの目的：コンピュータトモグラフィや顕微鏡の結果、MRIなどの3Dデータを、可視化、加工、評価
使用可能なオプション機能：EDS（AMETEC　EDAX-EDS　SDD60mm2、TEAM）	オプションの目的：試料元素の特定、定量
使用可能なオプション機能：EBSD（AMETEC　TSL-EBSD　DigView、OIM）	オプションの目的：結晶性試料の方位解析
使用可能なオプション機能：MAPS	オプションの目的：高領域の画像を自動取得
使用可能なオプション機能：Auto　Slice　&　View	オプションの目的：3D再構築用途向け自動化断面スライス加工＋SEM像取得ソフトウェア
使用可能なオプション機能：EDS3	オプションの目的：3D再構築用途向け自動化断面スライス加工＋EDSデータ取得ソフトウェア
使用可能なオプション機能：EBSD3	オプションの目的：3D再構築用途向け自動化断面スライス加工＋EBSDデータ取得ソフトウェア
使用可能なオプション機能：CryoMAT	オプションの目的：冷却ステージによる試料凍結

装置写真