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東北大学 産学連携先端材料研究開発センター (MaSC)

共用機器のご案内

Shared equipment

共用機器のご案内

クロスセクションポリッシャ(CP)

断面試料作製装置 クロスセクションポリッシャ(CP)
日本電子㈱製 IB-09020CP

装置概要(目的)

SEM観察試料を大気に曝さすことなく、モニタカメラで確認しながら、Arガスによる断面加工が可能なクロスポリッシャ加工機

主な特徴及び用途

【特長】

  • イオン加速電圧最大6kV, 試料冷却温度-120℃まで可能。 加工観察用モニタカメラにより、大気に試料を曝すことなく断面加工が可能。
    (専用のトランスファーベッセルを使用することで、断面加工表面を大気に曝さずに、JSM-7800Fにて観察できる)
  • アルゴンガスを用い柔らかい試料、硬い試料、脆い試料に対して損傷を少なくした断面試料の作製が可能。

【用途】

  • 機械研磨による加工変質層(クラック、結晶粒微細化など)が生じやすい金属・無機物質に有効
  • 液体窒素による冷却加工が可能(断面作製時の加工熱で変質・変形しやすい、はんだなどの低融点金属、ポリマーに有効)

主な仕様

イオン加速電圧 2~6kV
イオンビーム径 500μm以上(半幅値)
ミリングスピード 100μm/h(2時間の平均値、加速電圧6kV、Si換算、エッジ距離 100μm)
試料スイング機能 ミリング中、資料を±30°自動スイング
最大搭載資料サイズ 11mm(幅)×10mm(長さ)×2mm(厚さ)
試料回転角度調整範囲 ±5°
操作方法 タッチパネル、6.5型ディスプレー
加工位置合わせ法 CCDカメラにより試料ステージ上でモニター
位置合わせ用カメラ倍率 約70倍(6.5型ディスプレー上)
加工観察用カメラ倍率 約20~100倍(6.5型ディスプレー上)
プリセット機能 加工条件(加速電圧、Arガス流量、加工時間)を5組プリセット
イオン用ガス アルゴンガス

装置写真

クリックすると拡大してご覧いただけます。

  • クロスセクションポリッシャ

    装置本体全体

  • クロスセクションポリッシャ

    試料冷却用の液体窒素容器と、
    試料観察用モニターカメラ

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