共用機器のご案内|東北大学産学連携先端材料研究開発センター(MaSC)

2014年 Material Solutions Center(MaSC) 始動。世界をリードする革新的な材料開発と最先端の装置の共用化を行うことで、地域と経済の発展に貢献していきます。

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共用機器のご案内

G クリーンチャンバー 日本エアーテック製 サーマルクリーンチャンバー(TCC-603523A4S)
  クリーンチャンバー 日本エアーテック製 サーマルクリーンチャンバー(TCC-603523A4S3) クリーンチャンバー 日本エアーテック製 サーマルクリーンチャンバー(TCC-603523A4S3) クリーンチャンバー 日本エアーテック製 サーマルクリーンチャンバー(TCC-603523A4S3)
  TCC-603523A4S
用途
半導体製造、精密加工、精密測定器、バイオロジカリー用スペース

仕様
・室内有効内面積:5100(W)×3350(D)×2230(H)
・照明・窓:UVカット仕様
・清浄度:ISOクラス4(対象粒径0.3µm)以下
・吹出し速度:0.2m/sec
・風量:約220m3/min以上
・設定温度調節:23℃±2℃
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