共用機器のご案内|東北大学産学連携先端材料研究開発センター(MaSC)

2014年 Material Solutions Center(MaSC) 始動。世界をリードする革新的な材料開発と最先端の装置の共用化を行うことで、地域と経済の発展に貢献していきます。

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共用機器のご案内

F 微細加工システム FEI社製 FIB/SEMデュアルビームシステム(Helios NanoLabTM 600i)
  微細加工システム FEI社製 FIB/SEMデュアルビームシステム(Helios NanoLab 600i) 微細加工システム FEI社製 FIB/SEMデュアルビームシステム(Helios NanoLab 600i) 微細加工システム FEI社製 FIB/SEMデュアルビームシステム(Helios NanoLab 600i)

 

  Helios NanoLab 600i FIB/SEM デュアルビームシステム
用途
ナノスケールの微細加工、観察、分析、透過電子顕微鏡用試料作製ができる。
装置概要
FIB加工過程をSEMでリアルタイム観察、FIBビームとSEM電子ビームの同時照射が可能、自動でスライス加工とSEM画像取り込み(EBSD,EDS測定)を繰り返し、データの3次元構成が可能。TEM試料作製及びアトムプローブ試料作製、試料室内でメッシュ等に固定が可能。

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