共用機器のご案内|東北大学産学連携先端材料研究開発センター(MaSC)

2014年 Material Solutions Center(MaSC) 始動。世界をリードする革新的な材料開発と最先端の装置の共用化を行うことで、地域と経済の発展に貢献していきます。

  • HOME
  • 共用機器一覧
  • 構造解析システム(ナノ構造等)日本電子製 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム

共用機器のご案内

B 構造解析システム(ナノ構造等) 日本電子製 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム
  構造解析システム(ナノ構造等)日本電子製 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム 構造解析システム(ナノ構造等)日本電子製 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム 構造解析システム(ナノ構造等)日本電子製 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム

 

  1 日本電子製 電界放出型走査電子顕微鏡(JSM-7800F)
用途
この走査電子顕微鏡は、スーパーハイブリッドレンズの照射系により高い分解能観察と低加速観察、磁性材料も観察できる。電界放出型電子銃と開き角制御レンズを用いて小さい電子ビーム径で大電流の照射ができ、短時間でEDS,EBSD分析が可能である。
装置概要
分解能は、加速電圧0.1kV~30kVで分解能3.0~0.8nm以下、スーパーハイブリッドレンズの採用により磁性材料の観察可能。EDS分析、EBSD分析(極点図・逆極点図)、大気非暴露試料保持対策、低真空観察ユニット付き
試料がグローブボックス-クロスセクションポリッシャ-SEM間を大気非曝露で移動可能にするベッセルを有す。
  2 日本電子製 クロスセクションポリッシャ(IB-09020CP)
用途
SEM用断面試料作製装置/アルゴンイオンを用いて柔らかい試料、硬い試料、脆い試料からも損傷の少ない断面試料作製ができる。(JSM-7800Fと併用して大気非暴露で試料作製可能)
装置概要
イオン加速電圧6kV,試料冷却-120℃可能、加工観察用カメラ付き、大気非暴露型試料断面加工装置
(専用のトランスファーベッセルを使用することで、断面加工表面を大気にさらさないで、JSM-7800Fにて観察できる)
  • フロアマップ
  • 共用機器
  • プロジェクト